Page 79 - TSMC 2019 年報

維電晶體、新記憶體、及低電阻導線等領域，符合進度 以期為技術平台提供堅實的基礎。關於三維積體電路先 進封裝，具有節能效益的子系統整合和微縮的創新能夠 進一步增強 CMOS 邏輯應用。在特殊製程技術方面，台 積公司更加著重於新的特殊技術，例如射頻及三維智能 感測器，以支援 5G 及智能物聯網的應用。民國一百零 六年，台積公司成立先進技術研究部門，將持續專注於 新材料、製程、元件、奈米線、記憶體等未來八至十年 之後的長期研發。台積公司也持續與外部的研究組織合 作，從學術界到產業聯盟，以延續摩爾定律為目標，為 提供客戶具成本效益的技術及製造解決方案鋪路。
憑藉著優異、高度專注的研發團隊，加上對創新的堅定 承諾，台積公司對自身的能力有信心，為客戶提供最佳 且最具成本效益的系統單晶片技術，確保公司在未來業 務的成長及獲利。
半年量產，其所在之晶圓十八廠將是台積公司第四座超 大晶圓廠。同時為提供更先進的製造技術，保留部分產 能做為研發用途，以支援 3 奈米、2 奈米及更先進製程 的技術發展。
這三座超大晶圓廠藉由集中式晶圓廠製造管理系統超級 製造平台(Super Manufacturing Platform SMP)協調 運作，除了能讓客戶得到更一致的品質與可靠度，還能 因應需求變動提供更大的產能彈性，縮短良率學習曲線 與量產時間，以及提供較低成本的產品重新認證流程。
5 3 2 工程效能最佳化
隨著先進製程發展，線寬持續微縮，更嚴格的製程管制 和品質的要求已成為製造上的一大挑戰。台積公司獨有 的製造架構，是為管理多樣化產品組合所量身訂作，採 用嚴格的製程管制以追求產品品質精進，符合客戶更高 的產品品質、效能與可靠度的需求。為同時達到品質卓 越與製造卓越，台積公司的製程管制已整合了多項智 慧功能，協助自我診斷(Self-diagnosis)、自我學習 (Self-learning) 與 自 我 反 應(Self-reacting)， 在 提 升良率、品質保證、改善流程、錯誤偵測、降低成本與 縮短研發週期方面，均成效卓著。
台積公司已開發出精準缺陷偵測分類系統(Precise Fault Detection and Classification System)、 先 進 智 慧 機 台 控 制(Intelligent Advanced Equipment Control)和先進智慧製程控制(Intelligent Advanced Process Control)，即時監控並準確調整製程條件。為 達到品質第一和確保高效率和高效能的生產流程，台積 公司開發出精準機台腔體匹配(Precision Equipment Matching)和良率採礦分析(Yield Mining)，將製程 變異、潛在的缺陷和製程偏離降至最低。
為因應 5G 時代的到來與行動裝置(Mobile)、高效 能 運 算(High Performance Computing)、 車 用 電 子 (Automotive) 與 物 聯 網(Internet of Things) 日 益 嚴格的品質要求，台積公司進一步建立了大數據(Big Data)、 機 器 學 習(Machine Learning) 和 人 工 智 慧 (Artificial Intelligence) 的 架 構， 系 統
化 整
合 產 線 知 識和資料科學理論，建構以知識為基底的工程分析，以 實踐工程效能最佳化。
台積公司未來主要研發計劃摘要
計劃名稱
計劃內容
預計試產時程
3 奈米邏輯技術平台 應用 3 奈米以下邏輯技術 平台應用
三維積體電路 下一世代的微影技術 長期研究
支援系統單晶片技術(SOC)的第 六代三維 CMOS 製程技術平台
支援系統單晶片技術的三維 CMOS 製程技術平台
因應系統級封裝技術(SiP)，開 發更具成本效益及更具尺寸、效能 優勢的解決方案
發展極紫外光及相關曝光技術以延 伸摩爾定律
民國 110 年 民國112年
民國 107 年至 民國 110 年 民國 107 年至 民國110年
民國 107 年至 民國115年
特殊系統單晶片技術(包括新型非 揮發性記憶體、微機電、射頻、類 比晶片)及未來八 – 十年的電晶體 技術 以上計劃之研發經費約佔民國 109 年總研發預算之 70%，而總研發預算預估約 佔民國 109 年全年營收的 9%。
5 3 卓越製造
5 3 1 超大晶圓廠(GIGAFAB® Facilities)
提供可靠的產能是台積公司製造策略的重要關鍵。台積 公司目前擁有三座十二吋超大晶圓廠—晶圓十二廠、晶 圓十四廠及晶圓十五廠。民國一百零八年，這三座超大 晶圓廠的總產能已超過 800 萬片十二吋晶圓約當量，目 前提供 0 0 0 13 微米、90 奈米、65 奈米、40 奈米、28 奈 奈 奈 奈 米、20 奈米、16 奈米、10 奈米和 7 奈米全世代以及 其半世代設計的生產。5 奈米預計於民國一百零九年上
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