台积公司内部审计为独立单位，直接隶属董事会；除在董事会例行会议报告外，并于每季与必要时向董事长、审计暨风险委员会及营运委员会报告。

内部审计规程明订内部审计复核公司作业程序的内部控制，并报告该等控制之设计及实际日常运作是否适当及兼顾效果与效率；其复核范围涵盖公司所有单位、作业及子公司。

审计工作主要是依据董事会通过的审计计划执行，该审计计划乃依据已辨识之风险拟订，另视需要执行项目审计或复核。综合上述一般性审计及项目的执行，内部审计提供内部控制制度运作上的客观确认及洞见予管理阶层，同时提供管理阶层另一个管道以了解现存或潜在的控制弱点，俾能及时因应。

内部审计复核公司各单位及所有子公司所执行的自行检查，包括检查该作业是否执行并复核文件以确保执行的质量，并综合自行检查结果，报告审计暨风险委员会及董事会。

本公司内部审计单位配置专任审计人员，资深处长及其所属审计人员共计22人。本公司内部审计主管之任免，经审计暨风险委员会同意，并提董事会决议。