Page 105 - TSMC 2022 Annual Report

5 3 6 品質暨可靠性 台積公司致力於提供卓越的半導體製造服務給全球客
戶。為達到客戶全面滿意的目標，台積公司竭力於各方面 提供優異品質，塑造精益求精、不斷改善的企業文化。台 積公司採取各種遏制及預防措施，以避免客戶受到產品 缺陷的影響。
在技術發展階段，品質暨可靠性組織即協助客戶將優越 的產品可靠性的需求導入設計中。民國一百一十一年，品 質暨可靠性組織與研發組織在先進邏輯製程技術、特殊 製程技術及先進封裝技術的開發及品質認證持續進行合 作，以確保元件特性、製程良率與產品可靠性均能達到對 客戶的承諾。
針對先進邏輯製程技術，品質暨可靠性組織成功地完 成3奈米鰭式場效電晶體的技術和產品品質及可靠性認 證作業，並於民國一百一十一年進入試產。針對特殊製 程技術，品質暨可靠性組織成功地完成22奈米消費性 電子嵌入式電阻式隨機存取記憶體(Resistive Random Access Memory RRAM)矽智財的品質認證。另外， 在雙載子-互補金屬氧化半導體-擴散金屬氧化半導體 (Bipolar-CMOS-DMOS BCD)製程技術，品質暨可靠性 組織完成了40奈米BCD 20/24V的可靠性認證。針對先 進封裝技術，台積公司整合前段晶圓製程與後段晶片封 裝，提供先進封裝解決方案，實現晶圓級製程的系統整 合。民國一百一十一年，品質暨可靠性組織完成台積公司 3DFabricTM技術平台的品質認證，成功認證第一個系統 整合晶片技術(SoIC)，第一個晶圓堆疊於晶圓之上技術 (WoW)成功認證更大尺寸的基板上晶圓上晶片封裝技 術(Chip on on Wafer on on Substrate CoWoS®)，藉由異質 晶片封裝相互作用，提供高效能運算晶片更好的系統整 合能力。
為了持續降低產品缺陷、精進製程控制、及早發現異常， 以及避免品質事件的影響，品質暨可靠性組織與營運 組織共同合作，應用先進的統計手法及品質工具，建立 晶圓廠的即時防禦系統。品質暨可靠性組織亦與晶圓 廠共同合作，強化了車用產品的設計法則應用，並將車
用品質系統進化至2 0版，其中包含了加嚴晶圓廠的線 上及晶圓允收測試的製程能力要求，以及異常晶圓的處 理。為了滿足汽車產品客戶的低百萬分之不良數(Defect Parts Per Million DPPM)要求，品質暨可靠性組織也提 供專用的資源，進行客戶退貨分析及即時的物性故障分 析(Physical Failure Analysis PFA)以便進行製程改善。
為了提升員工解決問題的能力及發展相關的品質系統及 方法，民國一百一十一年，品質暨可靠性組織持續地舉 辦了優良案例發表會等全公司性的研討會及訓練課程。 品質暨可靠性組織也先後完成數項數位轉型(Digital Transformation)的開發任務，並應用於原物料管理、統 計製程管制、量測與實驗室分析，運用機器學習與人工智 慧實現數位轉型的目標，使智慧品質防禦與製造品質遠 距管理成為可能，克服COVID-19疫情影響，實現全球晶 圓廠跨海品質管制零距離與零時差。民國一百一十二年， 品質暨可靠性組織將持續地推廣品質手法及專業訓練， 並應用人工智慧，提升台積公司的整體競爭力。
「綠色製造」、「責任供應鏈」與「永續經營」的落實是 品質暨可靠性組織的工作重點。民國一百一十年，品質暨 可靠性組織增設先進化學實驗室，持續加強原物料品質 的監控，協助研發組織進行物料創新，更提供技術服務 予原物料供應鏈，促進產業鏈技術的再提升。品質暨可 靠性組織除了與企業環保安全衛生組織合作，要求供應 商宣告其所生產的物料必須符合國際社會對可能導致罹 癌、生殖突變、畸胎等有害物質所訂立的使用規範外，更 針對所有可能有風險的物料予以分類，並執行抽樣測試。 民國一百零九年，品質暨可靠性組織已具備100%的檢驗 能力，並分享相關的檢驗手法與技巧予主要原物料供應 商，藉此提升供應鏈對危害物質的監控與管制能力。民 國一百一十年，品質暨可靠性組織更進一步協助台積子 公司建立有害物質的檢測能力，以提升整體產業鏈對危 害物質的監控與管制。民國一百一十一年，品質暨可靠性 組織持續以品質為基底，達到「質」與「量」的平衡的雙 贏策略，提供材料專業分析，並運用最佳化知識管理方 式，協助原物料新產線或新廠商的產能擴充與技術的提 升。藉此，台積公司與材料供應鏈得以在嚴峻的地緣政 治局勢中持續成長。
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