Page 82 - 2017 年報
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5 3 卓越製造
5 3 1 超大晶圓廠(GIGAFAB® Facilities)
提供可靠的產能是台積公司製造策略的重要關鍵。台積 公司目前擁有三座十二吋超大晶圓廠—晶圓十二廠、晶 圓十四廠及晶圓十五廠。民國一百零六年,這三座超大晶 圓廠的總產能已超過700萬片十二吋晶圓,目前提供0 13 微 米、9 0 0 0 奈 奈 奈 奈 奈 奈 米、6 5 奈 奈 奈 奈 奈 奈 米、4 0 0 0 奈 奈 奈 奈 奈 奈 米、2 米、2 8 奈 奈 奈 奈 奈 奈 米、2 米、2 0 0 0 奈 奈 奈 奈 奈 奈 米、1 6 6 奈 奈 奈 奈 奈 奈 米、10奈米和7奈米全世代以及其半世代設計的生產,同 時為提供更先進的製造技術,保留部分產能作為研發用 途,以支援5奈米及更先進製程的技術發展。
台積公司已發展出集中式晶圓廠製造管理系統「超級製造 平台」(Super Manufacturing Platform SMP),除了能讓 客戶得到更一致的品質與可靠度,還能因應需求變動提供 更大的產能彈性,縮短良率學習曲線與量產時間,以及提 供較低成本的產品重新認證流程。
5 3 2 工程效能最佳化 隨著先進製程發展,線寬持續微縮,更嚴格的製程管制
已成為製造上的一大挑戰。台積公司獨有的製造架構, 是為多樣化產品組合所量身訂作,採用嚴格的製程管制 以追求產品品質精進,符合客戶更高的產品品質與效能 的需求。為達到機台、製程與良率的全面最佳化,製程管 制和分析系統已整合了多個智慧功能,達成了自我診斷 (Self-diagnosis)與自我反應(Self-reacting),在提升 良率、改善流程、錯誤偵測、降低成本與縮短研發週期方 面,均成效卓著。
台積公司已開發出精準即時缺陷偵測分類系統(Precise Fault Detection and Classification System)、先進智慧 機台控制(Intelligent Advanced Equipment Control) 和先進智慧製程控制(Intelligent Advanced Process C o o n t r o o l ), 即 時 監 控 並 準 確 調 整 製 程 條 件 。 為 滿 足 先 進 且 精準的製程控制和確保高效率和高效能的生產流程,台 積公司開發出精準機台腔體匹配(Precision Equipment Matching)和良率採礦分析(Yield Mining),將製程變 異和潛在的良率損失降至最低。台積公司更進一步建立 了大數據(Big Data)、機器學習(Machine Learning)和 人工智慧(Artificial Intelligence)的架構,用以找出影響 產品品質優劣的關鍵因素,以優化良率管理和生產效率, 以滿足特殊的製程如車用半導體與多元的產品需求。
5 3 3 3 3 敏捷與智慧生產 台積公司憑著敏捷與智慧生產,持續推動卓越製造。台積
公司的敏捷製造整合了供需模型、精實的在製品管理、派 工與排程,以提供快速產能提升、較短的製程週期、穩定 的生產和準時交貨。這套系統也提供了高度彈性,以快速 支援客戶的緊急需求。
台積公司也引進物聯網、智慧化行動裝置和移動式機器 人。這些新的應用強化了資料收集、良率追蹤、流程效率 和物料傳送,以持續精進工廠的生產效率。
為落實卓越製造的承諾,台積公司更進一步將自動化生 產製造系統結合機器學習技術。機器學習技術將工廠的 生 產 模 式 , , 從 「 「 自 動 化 化 」 」 革 新 為 「 「 智 能 化 化 」, 廣 泛 地 應 用 在 排程與派工、人員生產力、機台生產力、製程與機台控 制、品質防禦以及機器人控制等方面,從而有效提升生產 效率、彈性和品質,同時最大化成本效益,並加速全面創 新。
5 3 4 原物料暨供應鏈管理
在民國一百零六年,透過晶圓廠、品質管理及相關業務單 位的團隊合作,台積公司定期檢視並解決供應商產能不 足、品質問題或潛在供應鏈風險。台積公司也與供應商合 作提升物料及其製程的創新能力、品質改善並共創循環 經濟與雙贏的效益。
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