Page 157 - TSMC 2022 Annual Report

為進一步強化水資源管理，台積公司引進全球唯一可持 續水管理標準(AWS Standard)，民國一百一十一年年 初，位 於 新 竹 科 學 園 區 的 晶 晶 晶 圓 圓 十二 十二 A 廠、晶 廠、晶 圓 圓 十二 十二 B 廠、晶 廠、晶 圓五廠以及龍潭科學園區的先進封裝三廠通過第三方驗 證機構取得白金級驗證。至此台積公司位於台灣三大科 學園區先進產品廠區皆已通過AWS白金級驗證，成為全 球 半 導 體 第 一 家。
再利用產生綠電，落實綠色製造。與此同時，台積公司台 灣廠區廢棄物回收率連續八年達95%，掩埋率連續13年 維持於1%以下，晶圓十二廠亦於民國一百一十年取得UL 2799廢棄物零掩埋最高等級鉑金認證，預計於民國一百 一十二年，所有台灣廠區將取得UL 2799鉑金級認證。
最近二年度台積公司廢棄物總量與單位晶圓委外廢棄物
處理量(註一)
最近二年度台積公司用水量統計
年度 委外一般廢棄物 (噸)(註二)
委外有害廢棄物 (噸)(註二)
單位晶圓委外廢棄 物處理量(註三) (公斤/十二吋晶
圓當量-光罩數)
年度 總用水量(立方公尺) (註一)
單位產品用水量(公升/十二 吋晶圓當量-光罩數)
111年 110年 104 681 272
82
82
674 982
137 3 3 119 7 未達成 (註 二)
111年 342 804
110年 335 080
401 215 0 0 99 339 623 0 99 台積公司用水減量目標與達成情形
執行減緩氣候 風 險 方 案，持 續落實日常節 水與缺水調適
註一:包含台積公司台灣廠區與子公司。 註二:單位產品用水量若扣除新建廠房(晶圓十八B廠)則為15 6%。 廢棄物管理與資源回收
註一:表格內數據為台積公司初步統計計算結果，尚未經第三方查驗。 註二:總量包含台灣廠區與子公司。
註三:台灣廠區
台積公司廢棄物減量目標與達成情形
持續推動源 達成 頭分類減廢，
要求廠商提供
低耗量化學品
機台
為確保所有廢棄物妥善處理與回收再利用，台積公司密 切追蹤廢棄物清理廠商回收與再利用實踐狀況。台積公 司慎選廢棄物清除處理及再利用廠商，除須具備廢棄物 相關合格證書與許可文件外，並定期至廠商端確認現場 操作情形及調閱聯單、處理紀錄等資料，比對實際接收 廢棄物再利用與處理情形，並積極強化對廠商稽核，例 如要求所有廢棄物清運商加入全球衛星定位系統(GPS) 衛星車隊系統，以追蹤所有清運車輛清運路徑及異常停 留點 所有廢棄物再利用及處理廠裝設閉路電視監視系 統(CCTV)以利調閱及稽核廢棄物處理情形 同時，為 進一步確保廢棄物獲妥善處理，台積公司完成「廢棄物 智能追蹤系統(System of Waste IntelligentFast Track S W I F T)」建置，於民國一百一十一年挑選出五種類型 的廢棄物處理廠商進行上線測試，預計民國一百一十四 年推展至全數廢棄物處理廠商，透過人工智慧技術取 代現場抽查，查核效能預計將提升65倍、年省13 000小 時人工查核時間。此外，台積公司還對再利用產品進行 追蹤調查，要求所有再利用處理廠商須按月回報產銷記 錄，確保再利用產品最終流向為合法去處。
民國111年目標及 成果
單位產品用水量降低 30%(公升/十二吋晶 圓 當 量
- 光 罩 數 )( 基 準年:民國99年)
單位產品用水量降低 2 6%(目標:16%)
策略
民國119年目標
民國111年目標及成果
達成情形
單位晶圓委外廢棄 物處理量(公斤/十 二吋晶圓當量-光罩 數)≦0 50
單位晶圓委外廢棄 物 處 理 量(公 斤/ 十二吋晶圓當量- 光罩數)0 99(目 標:≦0 99)
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策略
民國119年目標
隨著台積公司近年持續開發先進製程以及於國內外快速 擴充產能，廢棄物產出量亦同步攀升，主因在於新製程 開發更為複雜、良率穩定度要求以及原物料使用需求增 加。
為達到資源永續利用目標，台積公司成立一專責單位統 籌廢棄物再利用及清除處理，以製程減廢、廠內再生、廠 外回收再利用為優先，無法回收再利用者才進行委外焚 化及掩埋處理。民國一百零六年，為強化廢棄物流向掌 控並降低委外處理廠商未妥善處理之風險，台積公司通 過修改公司章程，新增化學材料等四類營業項目，同時設 置廠內資源活化設施，將製程活動中所產出廢棄資源轉 製成產品，直接提供廠內或販售給其他工廠使用。民國 一百一十年，台積公司已針對硫酸銅廢液、硫酸鈷廢液、 硫酸廢液及硫酸銨廢液轉製為產品，亦發展冰晶石合成 系統，將廢氫氟酸回收轉製工業級原料再利用，成為廢 棄資源回收再製的標竿 至民國一百一十一年，台積公司 成為半導體業首次透過厭氧消化處理技術，將有機污泥
達成情形